低溫電磁閥 LNG至超導(dǎo)設(shè)備的解決方案

一、閥體材質(zhì)低溫性能對(duì)比

二、應(yīng)用領(lǐng)域技術(shù)要求

1. LNG系統(tǒng)設(shè)計(jì)

• 絕熱結(jié)構(gòu)：真空多層絕熱(VMLI)設(shè)計(jì)，確保閥體表面不結(jié)霜
• 認(rèn)證：EN 1473 LNG規(guī)范
• 緊急切斷：快速響應(yīng)，API 607標(biāo)準(zhǔn)

2. 半導(dǎo)體冷卻系統(tǒng)要求

• 高潔凈度：電拋光處理(RA≤0.4μm)
• 無(wú)泄漏：金屬波紋管密封(≤1×10⁻⁸Pa·m3/s)
• 防磁干擾：磁屏蔽設(shè)計(jì)

三、特殊結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

1. 低溫設(shè)計(jì)

• 防冷橋結(jié)構(gòu)：PTFE隔熱墊片阻斷熱傳導(dǎo)
• 預(yù)緊力補(bǔ)償：記憶合金彈簧自動(dòng)調(diào)節(jié)密封壓力
• 低熱容閥芯：鈦合金材質(zhì)減少冷量損失

2. 電壓選擇指南

四、常見問(wèn)題解答

Q1：為什么LNG系統(tǒng)使用316不銹鋼？

原因：

1. 抗硫化物應(yīng)力開裂性能
2. 氯離子耐受度比304高
3. 低溫韌性好(夏比沖擊功≥100J@-196℃)

Q2：如何處理液氮系統(tǒng)的閥門凍結(jié)問(wèn)題？

解決方案：

• 采用真空絕熱閥體(熱流密度≤0.5W/m2)
• 配置電伴熱系統(tǒng)(功率密度15W/m)
• 定期排放閥腔積液(建議每周一次)

Q3：半導(dǎo)體設(shè)備用閥有何特殊要求？

需滿足：

• 顆粒控制：≥0.1μm顆粒數(shù)<100個(gè)/m3
• 出氣率：TML≤0.1%，CVCM≤0.01%
• 材質(zhì)：SEMI F51標(biāo)準(zhǔn)兼容

五、選型流程

1. 確定溫度范圍：
   • -29℃～-100℃：304不銹鋼
   • <-100℃：316不銹鋼
2. 介質(zhì)特性匹配：
   • 氧化性介質(zhì)：電解拋光處理
   • 純介質(zhì)：鏡面拋光(RA≤0.2μm)
3. 安全認(rèn)證選擇：
   • 防爆區(qū)域：ATEX/IECEx認(rèn)證
   • 氧服務(wù)：ASTM G88兼容

六、維護(hù)保養(yǎng)規(guī)范

七、典型故障處理

現(xiàn)象：閥門在-150℃卡死

處理步驟：

1. 檢查潤(rùn)滑脂是否低溫固化
2. 驗(yàn)證閥桿直線度(偏差≤0.02mm/m)
3. 確認(rèn)預(yù)緊力是否足夠(≥200N)

預(yù)防措施：

• 使用低溫專用潤(rùn)滑脂(適用-200℃)
• 安裝導(dǎo)向軸承減少側(cè)向力
• 定期進(jìn)行低溫循環(huán)測(cè)試